研究分野図鑑 フォトリソグラフィとは？半導体を作る微細加工技術の仕組みをわかりやすく解説
フォトリソグラフィとは、光で微細な模様を作る半導体製造技術です。レジスト・フォトマスクの役割から、露光・現像・エッチングの流れ、ポジ型とネガ型の違い、EUVとの関係まで初心者向けにわかりやすく解説。MEMSやマイクロ流路への応用も紹介します。
2026-10
研究分野図鑑 
研究分野図鑑 NEMSとは？ナノスケールの機械デバイスの仕組みと研究内容を解説
NEMSとは、ナノスケールの機械構造と電気の仕組みを組み合わせたデバイスです。MEMSとの違いや、微小な振動から分子の質量を測る原理をわかりやすく解説。高感度センサー、小型発振器、機械式スイッチなどの研究内容と、作製方法や実用化の課題も紹介します。
研究分野図鑑 MEMSとは？超小型センサーやデバイスを作る技術をわかりやすく解説
MEMSとは、微小な機械構造を利用して動きや音などを検知・制御するデバイスです。スマートフォンの加速度センサーを例に、仕組み、半導体との関係、製造方法、活用分野をわかりやすく解説します。